基于微机电系统(MicroelectromechanicalSystem,MEMS)技术的电磁型器件,特别是采用软磁薄膜功能材料的电磁器件,如电磁MEMS开关等,因其工艺复杂而发展滞后。其中,电磁MEMS器件的发展落后于其他类型的MEMS器件,主要在于磁性薄膜材料的微加工工艺标准化程度低,磁性薄膜的形貌和磁性能容易受其他MEMS工艺步骤的影响。本文主要对射频(Radio Frequency,RF)微机MEMS开关软磁悬臂梁的制备工艺进行研究。
