有的线性导轨是考虑误差吸收方法进行设计的。要安装在难以加工和获得精度的平面部位时，可以选择钢珠的接触构造为DF（正面组合）构造的产品构成容易吸收误差的结构。

因为“自动调整”好的DF构造的线性导轨将安装面的倾斜经由导轨本身进行吸收，所以组装在滑块上的工作台不易变形。

要进一步提高线性导轨的“自动调整功能”，需要提高工作台的刚性。工作台的刚性是提高使用线性导轨的装置的精度的重要因素。

基于钢珠的赫兹理论的分析结果为1/4.4，这是理论上将导轨、滑块、安装螺母等作为刚体看待得出的近似结果。考虑到这一点，实际应当比1/4.4小。将给定的校直误差量与工作台的实际变位置量的比称为精度平均化系数，而经实验，该系数为1/7.1。我们认为1/7.1的试验结果有相当的可靠性。

因此，线性导轨具有将安装导轨的基础加工及组装时产生的垂直度、平面度、平行度等校直误差平均化后进行吸收的特点。

巧妙地利用这一功能特性可以制造高精度的工作台，使用一般工业用的线性导轨也能获得0.6μm/110mm的上下精度（垂直度），可以应用于精度要求严格的半导体制造装置