等离子去光阻机
等离子去光阻机
产品价格:¥0(人民币)
  • 规格: 650(W)×900(D)×1600(H)mm
  • 发货地:山东招远
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    企业证件:未通过
    认证信息:未认证

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    商品详情
      采用电感耦合高密度等离子体(ICP),能快速去除晶圆上之残留光阻,达到晶圆表面洁净,具有蚀刻率高,无电极污染,离子能量低,不损伤基板等优点。
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