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化学成分 | 高纯单晶氧化铝Al2O3 | - |
纯度 | >99.996 | % |
位错密度 | <104 | cm-2 |
表面晶向 | C-plane(0001)±0.2 | Degrees |
M轴偏离角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
A轴偏离角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
直径 | Φ100.0 ± 0.10 | mm |
厚度 | 650±15 | μm |
标记平面晶向 | A-axis(11-20)± 0.2 | Degrees |
标记面宽度 | 32.5±1 | mm |
正面 | 精细抛光(开盒即用) | - |
正面粗超度(Ra) | ≦ 0.3 | nm |
被面粗超度 (Ra) | 0.5 ~ 1 | μm |
总厚度偏差 | < 15 | μm |
翘曲度 | 0~-15 | μm |
弯曲度 | ≦ 15 | μm |
边缘倒角 | C=45 | Degrees |
包装 | 100级洁净车间,25片或单片真空/充氮包装 | 盒 |