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日本横河YOKOGAWA OX400低浓度氧化锆氧分析仪
横河电机最新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
>>特性
使用寿命长，响应速度快
高性能和高可靠性
内置功能和多种自诊断功能
出众的维护性
>>规格
| 测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) | ||||||||
| 测量系统 | 氧化锆系统 | ||||||||
| 采样方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 样气条件 | 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG 最大容许压力: 30kPaG | ||||||||
| 测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 输出量程 |
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| 模拟输出 | 2路输出， 一次: 4～20mA DC(最大负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大) | ||||||||
| 接点输出 |
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| 接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||||||
| 自诊断 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 标定方法 | (1)3点: 10ppm，1000ppm，空气，(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定 | ||||||||
| 暖机时间 | 20分以内 | ||||||||
| 电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大 | ||||||||
| 尺寸 | 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||||||
| 质量 | 约5kg | ||||||||
| 管线连接 | 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||||||
| 环境条件 |
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| 符合的安全标准 和EMC标准 |
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| 重复性 | ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%) |
| 线性 | ±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低) |
| 响应时间 | 90%响应 10秒内(0~1%或更高) 30秒内(小于0~1%) |
| 漂移 | ±2%F.S./周 |
| 型号 | 后缀代码 | 选项代码 | 描述 | ||||
| OX400 | 低浓度氧分析仪 | ||||||
| 电源(说明1) | -5 | 100-120VAC，50/60Hz | |||||
| -3 | 220-240VAC，50/60Hz | ||||||
| 采样方法 | -P | 泵式 | |||||
| -A | 抽提式 | ||||||
| -N | 无抽气设备 | ||||||
| 气体接口 | -R | Rc 1/4 | |||||
| -T | 1/4 NPT | ||||||
| 用户手册 | -J | 日语版 | |||||
| -E | 英语版 | ||||||
| 电缆（说明1） | -D | UL/CSA电缆（2M） | |||||
| -F | VDE电缆（2.5M） | ||||||
| -H | GB电缆（2.5M） | ||||||
| -Q | BS电缆（2M） | ||||||
| -R | SAA电缆（2.5M） | ||||||
| 可选项 | 安装硬件 | /P | 盘装 | ||||
| 多选择器功能 | /MS | 多选择器功能 | |||||
| 过滤器 | /F | 活性碳过滤器（说明2） | |||||
OX400-3-P-R-E-F/P OX400-3-A-R-E-F/P OX400-3-N-R-E-F/P OX400-3-P-T-E-F/P OX400-3-A-T-E-F/P
OX400-3-N-T-E-F/P OX400-3-P-R-E-H/P OX400-3-A-R-E-H/P OX400-3-N-R-E-H/P OX400-3-P-T-E-H/P
OX400-3-A-T-E-H/P OX400-3-N-T-E-H/P OX400-3-P-R-E-Q/P OX400-3-A-R-E-Q/P OX400-3-N-R-E-Q/P OX400-3-P-T-E-Q/P OX400-3-A-T-E-Q/P OX400-3-N-T-E-Q/P OX400-3-P-R-E-R/P
OX400-3-A-R-E-R/P OX400-3-N-R-E-R/P OX400-3-P-T-E-R/P OX400-3-A-T-E-R/P
