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高速横向减薄机
工作原理：
1．本系列横向研磨机为精密磨削设备，由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削，金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损，而且磨削均匀生产效率高。
特 点：
1．可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2．减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3．系列研磨机采用CNC程控系统，触摸屏操作面板，
技术参数：
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型 号 |
YM-150LX |
YM-180LX |
YM-200LX |
YM-230LX |
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金刚石磨轮尺寸 |
φ150×H25 |
φ180×H25 |
φ200×H30 |
φ230×H30 |
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最大工件尺寸 |
φ150mm |
φ180mm |
φ200mm |
φ230mm |
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磨轮转速（可调） |
0---1000rpm /分钟 |
0---1000rpm /分钟 |
0---800rpm /分钟 |
0---800rpm /分钟 |
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工件转速（可调） |
0---2000rpm /分钟 |
0---2000rpm /分钟 |
0---1800rpm /分钟 |
0---1800rpm /分钟 |
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磨轮电机功率 |
1.5KW. 380V 3相 |
1.5KW. 380V3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
2.2KW. 380V 3相 |
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真空主轴电机功率 |
0.75KW. 380V3相 |
0.75KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
1.1KW. 380V3相 |
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控制精度（平行度） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
1um（φ100mm） |
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外形尺寸 |
1200×550×1550 |
1200×550×1550 |
1350×600×1600 |
1350×600×1600 |
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重 量： |
850kg |
980kg |
1100kg |
1300kg |
