有机废气气体利用排风设备输入到UV紫外光光催化除臭设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。

利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体和TiO2光催化，催化裂解恶臭气体如：氮、C3H9N、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。

TiO2光催化的催化化性在很大程度上影响光催光反应速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒径的影响。锐钛型TiO2的催化活性高。随着粒径的减少，电子与空穴简单复合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔径、粒子表面状态，纯度等对其光催化活性也均有一定影响。为了提高光降解效率，对TiO2光催化剂进化改性，如研制纳米TiO2，制备TiO2的复合半导体，金属离子掺杂、染料光敏化等。利用高能臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→o一+o*（活性氧）o+O2→O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。

利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。