makita真空油泵不能正常启动维修

镀膜设备在集成电路制造中的应用晶体管路中的保护层(SiOSi3N4)、电极管线(多晶硅、铝、铜及其合金)等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术 有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等，选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵，如果气体中含有蒸气，颗粒，及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装设备，如冷凝器，除尘器等，真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
真空泵是获取真空的重要装置，不注意使用就会发生故障，一旦发生故障就会导致停工，轻则几个小时，重则十天半个月，这就会严重影响生产。要避免因为故障而停工停产，作为真空泵用户就需要提前进行设备的预维护，还需要了解大量设备的知识。

如气镇装置等

这些小颗粒会堆积粘附在泵体上，减小了抽气管路流导，延长了抽气时间，下降了泵的抽气功能 冶金，机械，矿山，轻工，及食物等许多工业部门，在工业生产的许多技能进程中，如真空过滤，真空引水，真空送料，真空蒸发，真空浓缩，真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的运用，因为真空运用技能的飞跃开展，水环泵在粗真空获得方面一贯被人们所重视。

真空泵故障预测方法：
当旋转真空泵转子的电机的电流的积分值或平均值超过预定的报设定值时，确定故障发生，并产生报。在真空泵故障预测系统中，包括壳体和可旋转地布置在壳体中的转子并且预测通过马达的旋转吸入和排出气体的真空泵的故障，转子具有多个级。将安装在两个阶段之间。设置故障预测单元，其计算使转子旋转的电机的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定报设定值时预测真空泵的故障。故障预测单元根据压力传感器检测到的压力值，切换或中断故障预测计算方法。

如果排出的气体通过气道并转移到另一个阶段(低真空阶段)，则由低真空阶段泵出，然后通过低真空阶段压缩并排放到大气中，形成两级泵 往复式真空泵适用于泵送非固体颗粒，非腐蚀性气体，这种真空泵抽速更高，真空度更高，因此它广泛用于化工厂，但其结构复杂，维护量大，W型往复式真空泵是获得粗真空的主要设备之一，它用于从密封容器或反应盘中提取真空或其他气体。

真空泵保养方法：
1、检查真空泵管路及接头有无松动。用手转动真空泵，看真空泵是否灵活。
2、轴承润滑 轴承体内应加入机油，油位应在油标中心线，及时更换或补充润滑油。
3、松开真空泵泵体上的导水塞，倒入水流或浆液。
4、关闭出口管闸阀、出口压力表和入口真空表。
5. 点动电机，看是否转动正常。

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然后，拧紧排油阀.拧下加油孔上的加油帽，向真空泵内加入新的真空泵油，使油面达到油标线，再旋上加油帽 上海真空泵厂家提醒大家选用真空泵时，需要注意下列事项:真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求，如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。

油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣，氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑);旋片变形卡住;发生了咬合(铜套，转子，中壁，泵盖。装置概述多功能真空校准装置主要由高真空校准室、低真空校准室/稳压室、真空抽气系统、漏孔校准系统、电气控制及信号采集系统组成teqavbdajc

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