主要产品
离子源电源
加速器
中和器
发射器
通讯模块
脉冲发生器
单极脉冲发生器
溅射电源
直流电源
直流溅射电源
中频双极型脉冲发生器

主要型号
ADL GG03
ADL GIP10
ADL GG12
ADL Profibus 2.547
ADL GS 05 – GS 30
ADL GS 60 – GS 150
ADL GSW 100 – GSW 300
ADL GX 50 – GX 150
ADL HX 150 – HX 300
ADL SD 30
ADL SD 150
ADL SD 300
ADL SB 300
ADL GSW 100/500
ADL GSW 100/800
ADL GSW 150/400
ADL GSW 150/500
ADL GS 60/800
ADL GS 80/800
ADL GSW 200/1000
ADL GX 50/800
ADL GX 60/800
ADL HX 150/400
ADL HX 150/500
ADL HX 150/800
ADL HX 150/1000
ADL HX 200/800
ADL GP 10/800
ADL GP 15/800 
ADL GP 20/800
ADL GP 30/800
ADL GP 30/1000
ADL GP 60/800
ADL GP 100/800
ADL GP 120/800
ADL GP 150/800
ADL RD 300
ADL GG 03 
ADL GG 03.1
ADL GG 12
ADL GG 12.1

常用产品介绍

直流溅射电源GS 05 - GS 30
紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全，电源可以非常灵活地使用。
弧形处理自动适应不同的过程参数，因此无需编程工作。这些设备设计用于安装在 19" 组件中。
输出功率0.5-3.0kW
空气 1/2 19" 内置住房， 3R
可互换接口模块
电压、电流和电源的数字显示屏
通过前面板手动操作
自动弧形处理

直流溅射电源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的气冷直流电源有三种操作变种：主动前面板、被动前面板和状态 LED。电源可在不限制切换时间的情况下全额定功率运行。
几个模块的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL电源一样，具有极快的自动弧线取消。设备的操作非常简单和安全。
输出功率 6.0 - 15kW
空气
19" 内置住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理

直流溅射电源GSW 100–GSW 300
可同时运行240kW，可增加输出功率。有了特殊的电路概念，"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。
这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口模块。极快的弧形处理完全自动工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。
输出功率10-30kW
水冷却
19"住房， 3 U
电磁阀控制
无潜力输出
并行运行240kW
自动弧形处理

直流溅射电源GX 50–GX 150
GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80，000 个弧。极端性能，加上小尺寸，是GX系列的突出标志。
这些设备可以全额定功率运行，不受切换时间的限制，也可以并行连接。
输出功率5-15kW
水冷却
1/2 19" 住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理

直流溅射电源 HX 150 - HX 300
1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的，其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡，可直接集成到任何安装位置的系统中。
显示屏是旋转的，可以从设备中分离出来。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。为了避免凝结，可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。
可同时运行240kW，可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理完全自动工作，因此无需设置参数。
输出功率 15kW 30kW
并行运行240kW
水冷却
电磁阀控制
带灰尘颗粒分离器的住房通风
1/219" 住房， 5U
法兰格紧固件
M8 女线起重机小眼
可拆卸旋转显示屏
自动弧形处理

离子源电源
对于离子源（考夫曼和ECR）的操作，提供各种特殊设备，也可以根据要求提供其他输出电压或服务。
所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。

脉冲发生器、选项和配件
PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起，按照共振开关原理工作。由于效率极高（30kW时为99.5%），该设备非常紧凑，只能产生150W的低耗电量。
现有系统可以很容易地进行改装，因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是，使用外部信号发生器，频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。

单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器，频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。
行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
输出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦
并行运行240千瓦
自动弧形处理
无潜力输出
自动同步
空气
非常紧凑的设计
法兰格紧固件

中频和双极脉冲发生器 SB 300
双极脉冲发生器 SB 300 既可用作中频发生器，以生成平衡交替电流，也可用于非对称方脉冲的双极脉冲器。通过特殊的功率商控制，双磁子的目标寿命可以精确对称。
两种不同的目标材料也可以用不对称的脉冲能力进行控制。Qotienten 控制器通过脉冲宽度调制 （PWM） 自动设置脉冲时间。该设备的固定频率为 20kHz。发电机具有自动电弧抑制。
行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程！几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
输出功率 30kW，交流电
主/奴隶或并行操作中的设备组合，可达 240kW
比率功率控制器
自动同步
水冷却
非常紧凑的设计
无潜力输出
模块化系统允许 HX （DC） 与单极脉冲发生器 （SD） 或双极脉冲发生器 （SB） 的组合
紧凑型 1/2 19" 设计
双极脉冲发生器与PWM控制保证对称溅射！
的超高速和全自动弧形管理
过程可重复性：优于 1-2%

直流电源HX 900 - HX 1400
HX 900 - HX 1400 是用于非反应过程的极其可靠且经济的电源。模块化结构使设备灵活，可满足不同要求。非常快速的电弧处理会自动检测工艺参数并自动进行调整。
无需手动编程，大大简化了调试或转换到不同目标的过程。强大的水冷系统即使在非空调环境下也能确保较长的使用寿命。
输出功率 90 - 140 kW
水冷
电磁阀控制
长 4 米阴极的非反应性涂层工艺
氧化阴极的快速溅射
自动电弧管理（高达 40,000 弧/秒）
自动功率补偿
高效率（标称功率时为 95%）