简介

Simco-Ion scorpION3 静电消除离子棒的设计是专为满足现今半导体制程的高洁净度和应用性能要求，也可符合一般电子制造的需要。它独特的结合了辅助吹气功能，"平衡电压峰值削减"技术，多款静电针尖材料，和不同棒长的选择，使其应用广泛。它可以降低产品表面静电，减低静电放电的发生；也能减少制造过程中，空气中的微尘颗粒污染物降落在产品表面。离子棒提供两种不同的静电针尖材料，符合半导体制程洁净度标准的单晶硅和一般应用的钨。

有辅助吹气功能的离子棒，可以应用在没有层流风的环境。提供的干燥压缩空气 (CDA) 气流，吹过静电针尖，把离子传递到更远的产品表面，同时形成"气流护套"围绕静电针尖，可延长它的清洁周期。

特点

有辅助吹气功能的型号      

平衡电压峰值削减技术      

多根离子棒可串连并能设定"主/从"功能

优点

提供更远的工作距离，适用于没有HEPA层流风的环境，以及能延长针尖清洁期

在脉冲直流工作模式下，可降低离子平衡电压的波幅以符合应用要求

透过可进接的主离子棒，能调整和监控的机台设备里面其他"从"离子棒的设置参数

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