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产品简介：
FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
产品特点：
技术参数：
产品 |
FS1015CL |
单位 |
流量范围 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
量程比 |
100：1 |
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
重复性 |
0.25 |
% |
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
输出飘移 |
±0.12 |
%/ ℃ |
响应时间 |
8 |
ms |
工作电压 |
5±1% |
Vdc |
输出方式 |
线性，模拟电压0.5~4.5Vdc |
|
最大流量压损 |
1300 |
Pa |
最大工作压力 |
0.2 |
MPa |
工作温度 |
-10~+55 |
℃ |
储存温度 |
-20~+65 |
℃ |
工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无凝露) |
|
电气接口 |
5针插座，AMP 103956-4 |
|
机械接口 |
ISO-15mm |
|
校准方式 |
空气，20℃，101.325kPa |
|
重量 |
21.5 |
g |
机械尺寸：
