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等离子去光阻机

等离子去光阻机

产品价格：￥0（人民币）

规格： 650(W)×900(D)×1600(H)mm

发货地：山东招远

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招远普斯玛等离子技术有限公司

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商品详情

采用电感耦合高密度等离子体(ICP)，能快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，具有蚀刻率高，无电极污染，离子能量低，不损伤基板等优点。

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