ASML 4022.455.16632
ASML 4022.455.16632
产品价格:(人民币)
  • 规格:4022.455.16632
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    商品详情

      ASML 4022.455.16632

      ASML 4022.455.16632

      :核心技术参数全览

      在现代半导体制造领域,光刻技术是推动芯片性能提升的关键因素之一。ASML作为全球领先的光刻设备供应商,其产品系列中,ASML 4022.455.16632凭借卓越的技术参数和稳定的性能,赢得了市场的广泛认可。以下将深入解析ASML 4022.455.16632的核心技术参数,帮助读者全面了解这款先进的光刻设备。

      基本信息

      ● 
      型号:ASML 4022.455.16632
      ● 
      类型:浸没式光刻机
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      应用领域:主要用于集成电路制造,能够支持7纳米及以下工艺节点的芯片生产。

      光源系统

      ● 
      光源类型:ArF(氩氟)准分子激光
      ● 
      波长:193纳米
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      光源功率:高达120瓦,确保高效率曝光
      ● 
      光源稳定性:优于0.1%的功率波动,确保曝光均匀性

      投影系统

      ● 
      镜头类型:高分辨率浸没式镜头
      ● 
      数值孔径(NA):1.35
      ● 
      分辨率:支持7纳米及以下工艺节点
      ● 
      套刻精度:优于2纳米,确保多层图形的精确对齐

      工作台系统

      ● 
      工作台类型:双工作台系统
      ● 
      移动速度:可达500毫米/秒
      ● 
      加速度:大于2G,确保快速定位
      ● 
      定位精度:优于1纳米,满足高精度曝光要求

      浸没系统

      ● 
      液体介质:去离子水
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      浸没液温度控制:±0.001摄氏度,确保光学系统稳定性
      ● 
      浸没液流动控制:精密控制流动速度和均匀性,减少气泡和污染

      控制系统

      ● 
      控制精度:纳米级控制,确保高精度曝光
      ● 
      自动化程度:高度自动化,减少人为干预,提高生产效率
      ● 
      软件系统:先进的曝光控制和数据处理软件,支持多种工艺要求

      环境要求

      ● 
      温度控制:±0.1摄氏度
      ● 
      湿度控制:40% ± 5%
      ● 
      洁净度要求:ISO 14644-1 Class 1级洁净室环境

      能源消耗

      ● 
      电力需求:约400千瓦
      ● 
      冷却水需求:约100立方米/小时
      ● 
      气体需求:多种工艺气体,包括氮气、氩气等

      设备尺寸与重量

      ● 
      尺寸(长x宽x高):约8米x 4米x 3米
      ● 
      重量:约50吨

      性能优势

      ● 
      高分辨率:支持先进工艺节点,满足高性能芯片制造需求。
      ● 
      高效率:双工作台系统和高速移动能力,提高生产效率。
      ● 
      高精度:纳米级控制精度和套刻精度,确保芯片制造质量。
      ● 
      高稳定性:稳定的光源和浸没系统,确保长期运行的可靠性。

      应用案例

      ASML 4022.455.16632已被全球多家领先的半导体制造商采用,成功应用于7纳米、5纳米及更先进工艺节点的芯片生产中。其卓越的性能为智能手机、高性能计算、人工智能等领域的发展提供了坚实的技术支持。
      综上所述,ASML 4022.455.16632以其先进的技术参数和卓越的性能,在全球半导体制造领域占据重要地位。其高分辨率、高效率、高精度和高稳定性的特点,使其成为芯片制造商不可或缺的关键设备。
      联系人:吴经理 手机:18596688429(微信同号)邮箱:841825244@qq.com


      ASML 4022.455.16632



























































































































































































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