L4513、L4514系列高温扩散炉

用于半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺设备，也可做为磁性材料的烧结工艺，还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺

全功能微控扩散系统、真空扩散炉、高温扩散炉、炉体（炉管）是扩散炉/氧化炉的关键部件，由于炉体寿命的限制需定期更換，我公司根据客戶要求专业设计制作3〃-8〃的扩散/氧化炉体，具有溫度均勻性好，寿命长，性价比高等优点RGL系列管式扩散炉专门设计用于材料扩散工艺，作为材料的高、中温在气氛环境中热处理之用。 窑炉采用FEC陶瓷纤维管保温、KANTHEL炉丝，优质气炼石英管作为炉膛, 可预抽真空并通入保护气体；进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。具有温度均匀控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点，是理想的科研设备
采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛，具有良好的洁净度和真空度，可拆卸式的三面密封方式，耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；加热元件采用U型硅钼（碳）棒或KANTHAL电阻丝；温控系统采用日本进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、一致性。立式真空烧结炉、单、双管卧式真空烧结炉、烧结炉、陶瓷烧结炉、链（带）式烧结炉、全功能微控扩散系统、真空扩散炉、高温扩散炉、烘焙排腊炉、单管氢气炉、真空烧结炉、双工位立式真空烧结炉、陶瓷金属化氢气烧结炉、马弗炉、消磁炉、、WDNI系列高精度电脑温度控制系统、WDNX多功能温度控制系统、全钽玻璃绝缘子熔封炉、PFJ-2型平行缝焊机、Y80-2/ RZQ加压检漏台、专业流量计、涡街流量计、涡轮流量计、电磁流量计、V锥流量计、孔板流量计