Laurell匀胶机WS-650Mz-23NPPB
Laurell匀胶机WS-650Mz-23NPPB
产品价格:¥\u9762\u8bae(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:湖北武汉
  • 品牌:
  • 最小起订量:1
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    企业证件:通过认证

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    商品详情
      产品参数
      品牌Laurell
      是否进口
      加工定制
      产品适用范围150mm
      电源220V
      工作电压300V
      重量15kg
      转速12000rpm
      转速精度1rpm
      基片尺寸10-150mm
      腔体材质聚丙烯
      连接方式蓝牙
      可售卖地全国
      型号WS-650Mz-23NPPB

      匀胶机(英文名:Spin?Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜?

      详细介绍:匀胶机(英文名:Spin?Coater&?Spin?Processor)?

      行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机


      一、产品概述:

      ????匀胶机WS-650Mz-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以 半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S?型匀胶机的特点。二、匀胶机工作原理:

      匀胶机WS-650Mz-23NPPB(spin?coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标:

      1、腔体尺寸:9.5英寸?(241?毫米);

      2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);

      3、转动速度:0-12,000rpm,?

      4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec;

      5、马达旋涂转速:稳定性能误差?<?±1;

      6、转速调节精度 lt;1rpm,重复性<?0.2rpm;

      7、工艺时间设定:1-5999.9?sec/step?0.1?精度;

      8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;

      9 数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006。

      10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;

      11、分辨率:分辨率小于1转/分,可重复性小于±1转/分,美 准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]

      12、配套真空泵系统:无油型?220~240伏交流,50/60赫兹;

      13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;

      14 水平测试仪;??


      可选配置:

      IND构造为湿站系统设计,带远程控制;

      OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;

      UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,

      EBR(Edge?Bead?Remover):晶圆去边,机械装置;

      http://www.mycrohk.com/spinprocessor


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