商铺名称：武汉元禄光电技术有限公司
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| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 元禄光电 | ||
| 刻蚀最小线宽 | ＜10 um | ||
| 激光器 | 纳秒绿光532nm、皮秒绿光532nm、皮秒紫外355nm、飞秒红外1030nm、飞秒绿光515nm、实验室刻蚀机1064/532nm | ||
| 整机精度 | ±15μm | ||
| 加工幅面 | 100*100/200*200/300*300/400*300/600*600/600*900/700*1400mm可选 可定制加工幅面 | ||
| 最小线宽 | ＜30μm/＜10μm/＜50um | ||
| 聚焦光斑 | ＜30μm/＜10μm/＜50um | ||
| 工作台定位精度 | ±3um/±20μm | ||
| 激光器频率调节范围 | 30-150KHz/1-1000KHz/25-5000KHz/1-2000KHz/ | ||
| 工作台重复精度 | ±1um/±20μm | ||
| CCD自动定位精度 | ±3um/±10μm | ||
| 刻蚀速度 | 最大刻蚀速度4000mm/s（单线） | ||
| 设备尺寸 | 1200*1200*1700mm（300*00mm幅面约1000 大尺寸及双光路 /1280*1400*1750mm（300*300mm幅面内）约1800Kg 皮秒/飞秒 电话联系 /1800*1800*1750mm（600*600mm幅面内） 约2500kg皮秒/飞秒 | ||
| 设备重量 | 3500kg | ||
| 功率 | 5W/10W/15W/20W/30W/40W | ||
| 可处理文件格式 | 标准CAD DXF文件 | ||
| 振镜 | 10/14mm通光孔径 | ||
| 聚焦镜 | 40*40/70*70/110*110mm幅面（根据不同的应用场景选择） | ||
| 扩束镜 | 4X、2-8X可调、1.5X | ||
| 热影响区 | ＜5μm/＜3μm | ||
| 直线度 | ±10μm/±5μm（最小可至±1μm）/±20μm | ||
| Z轴电机行程 | 50mm（自动软件控制）/手动500mm | ||
| 设备功耗 | ＜2500W/＜3000W/＜1500W | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;云南;台湾;陕西 | ||
| 型号 | 纳秒绿光ET200MG、飞秒红外ET300IR-FS皮秒紫外ET300UV-PS、皮秒绿光ET300MGPS、飞秒绿光ET300MG-FS、实验室刻蚀机 ET100IR/ET100MG | ||
基本功能
满足刚性玻璃基底表面的薄膜类太阳能电池刻蚀，采用四台设备分别对应不同薄膜电池不同功能层刻蚀需求。P1采用纳秒红外刻蚀TCO，P2采用皮秒紫外或绿光刻蚀功能层，P3采用皮秒紫外或绿光刻蚀背电极，P4采用高功率纳秒红外做清边。
特别注明：柔性基底中试线元禄光电开发中，可电话详细咨询联系！
产能高：可配备多路光束加工（可配单路），单机产能可达100MW;
精度高：采用高精度CCD定位，定位精度±15um；
可靠度高：采用特有结构，设备稳定性高；
适应性强：每一台设备既可离线（前后需加一段接驳台），又可在线使用，适应不同客户的需求；
