【报告名称】：中国电子工程用高纯硅烷市场发展现状与十三五规划分析报告2017-2022年
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【研究机构】：华研中商研究院
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【出版日期】: 2017年7月
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【报告编号】: 294789
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【报告目录】
 

第一章 半导体、光伏产业用高纯硅烷概述 16
 
1.1 高纯硅烷简介 16
 
1.2 高纯硅烷的主要基本性能与质量指标 17
 
1.3 高纯硅烷的主要应用领域 18
 
1.4 高纯硅烷在发展我国电子工业中的重要作用 19
 
第二章 电子特种气体及其应用市场 20
 
2.1 电子特种气体概述 20
 
2.2 电子特种气体制造中的主要技术方面 21
 
2.3 电子特种气体的纯净度要求 23
 
2.4 电子特种气体产品市场竞争的焦点问题 25
 
2.4.1 对电子特种气体杂质、纯度要求的问题 25
 
2.4.2 气体配送及供应问题 26
 
2.4.3 储存、使用中的安全性问题 27
 
2.4.4 成本性问题 28
 
2.5 国内外电子特种气体行业发展概述 29
 
2.5.1 境外电子特种气体生产与市场情况 29
 
2.5.2 国内电子特种气体行业及其发展 30
 
第三章 高纯硅烷气体性能指标及制备、净化的工艺路线 33
 
3.1 高纯硅烷的性能指标 33
 
3.2 高纯硅烷工业化制备的典型工艺路线 34
 
3.2.1 制备工艺法概述 34
 
3.2.2 硅化镁合金法制备硅烷 34
 
3.2.2.1 工艺过程 34
 
3.2.2.2 主要反应 36
 
3.2.2.3 工艺特点 36
 
3.2.2.4 工艺法存在的问题 37
 
3.2.3 三氯氢硅还原法制备硅烷 37
 
3.2.3.1 工艺过程 37
 
3.2.3.2 主要反应 39
 
3.2.3.3 工艺特点 39
 
3.2.3.4 工艺法存在的问题 40
 
3.2.4 四氟化硅还原法制备硅烷 41
 
3.2.4.1 工艺过程 41
 
3.2.4.2 主要反应 41
 
3.2.4.3 工艺特点 41
 
3.2.4.4 工艺法存在的问题 42
 
3.2.5 氯硅烷歧化法制备硅烷 42
 
3.2.5.1 工艺过程 42
 
3.2.5.2 主要反应 42
 
3.2.5.3 工艺特点 42
 
3.2.5.4 工艺法存在的问题 43
 
3.2.6 烷氧基硅烷歧化法 43
 
3.2.6.1 工艺过程 43
 
3.2.6.2 主要反应 44
 
3.2.6.3 工艺特点 44
 
3.2.6.4 工艺法存在的问题 44
 
3.3 高纯硅烷气体的净化工艺路线 45
 
3.3.1 气体的净化方法概述 45
 
3.3.2 高纯硅烷的净化过程 45
 
3.4 工业高纯硅烷气体的包装及贮运 46
 
第四章 国内外高纯硅烷生产与主要企业现况 47
 
4.1 世界高纯硅烷产销、市场规模的概况 47
 
4.2 国外高纯硅烷主要生产企业产销情况 47
 
4.3 国外高纯硅烷主要生产企业简况 48
 
4.3.1 REC Silicon公司 48
 
4.3.2 Dowcorning公司 51
 
4.3.3 SODIFF新素材有限公司 54
 
4.3.4 MEMC公司 57
 
4.3.5 Air Liquid公司 60
 
4.3.6 日本电气工业公司 64
 
4.3.7 大阳日酸公司 67
 
4.3.8 Evonik Industries公司 70
 
4.4 国内硅烷业的发展概述 72
 
4.4.1 我国高纯硅烷业发展的概述 72
 
4.4.2 我国硅烷研发、生产的历史 74
 
4.5 国内高纯硅烷生产企业现况 75
 
4.5.1 国内高纯硅烷生产企业总述 75
 
4.5.2 浙江中宁硅业有限公司 75
 
4.5.3 浙江赛林硅业有限公司 81
 
4.5.4 滁州市硅谷特种气体有限公司 88
 
4.5.5 六九硅业有限公司 95
 
4.5.6 浙江金华美晶硅电子有限公司 102
 
4.5.7 黑龙江金业电子气体股份有限公司 108
 
4.5.8 深圳市金业长健新材料股份有限公司 115
 
第五章 高纯硅烷主要应用领域的概述 122
 
5.1 高纯硅烷在集成电路中的应用 122
 
5.1.1 集成电路芯片制程 122
 
5.1.2 化学气相沉积和气体应用 122
 
5.1.3 高纯硅烷在化学气相沉积中作为气源形成的薄膜 131
 
5.2 高纯硅烷在薄膜硅太阳电池中的应用 132
 
5.2.1 非晶硅薄膜太阳能电池 132
 
5.2.2 Si薄膜的材料特性 132
 
5.2.3 非晶硅薄膜太阳能电池制作工艺及高纯硅烷其应用 136
 
5.3 高纯硅烷在液晶显示器中的应用 138
 
5.3 高纯硅烷在液晶显示器中的应用 139
 
5.4 高纯硅烷在其它领域的应用 139
 
5.4.1 在特种玻璃制造中的应用 139
 
5.4.2 在电子部件制造中的应用 140
 
5.4.3 在化合物半导体材料制造中的应用 140
 
5.5 高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算 141
 
第六章 高纯硅烷主要应用市场之一—集成电路产业的现况与趋势 143
 
6.1 世界半导体硅片生产与市场发展 143
 
6.1.1 世界半导体生产的现况 143
 
6.1.2 世界半导体硅片的生产状况 145
 
6.2 我国半导体晶圆生产与市场现况与发展 145
 
6.2.1 我国集成电路市场、产业发展现状 145
 
6.2.2 我国集成电路晶圆制造业情况 153
 
第七章 高纯硅烷主要应用市场之二 —薄膜太阳能电池产业的现况与趋势 154
 
7.1 国内外光伏产业的发展 154
 
7.1.1 世界光伏产业的快速发展 154
 
7.1.2 我国光伏产业发展环境与现况 155
 
7.2 薄膜太阳能电池的生产与市场 163
 
7.2.1 薄膜太阳能电池特点及品种 163
 
7.2.2 薄膜太阳能电池未来市场发展前景 171
 
7.2.3 薄膜太阳能电池生产及在光伏市场上的份额变化 174
 
7.3 国内外薄膜太阳能电池的主要生产企业 175
 
第八章 高纯硅烷主要应用市场之三 —液晶显示器产业的现况与趋势 180
 
8.1 世界平板显示器产业发展现况 180
 
8.2 我国平板显示器产业现况与未来发展预测 181
 
8.2.1 我国液晶显示产业发展概述 181
 
8.2.2 我国LCD面板生产现况与未来几年发展预测 183
 
8.2.3 我国发展平板显示产业的相关政策及未来发展的预测、分析 185
 

 
图表目录
 
图表 1 硅烷性能比较 18
 
图表 2 气体按其特性分类图 21
 
图表 3 杂质对硅低温选择性外延沉积的影响 24
 
图表 4 露点与集成度的关系 25
 
图表 5 微粒直径与集成度的关系 25
 
图表 6 特殊气体供应流程图 27
 
图表 7 硅烷的性能指标 33
 
图表 8 氢化锂还原三氯氢硅制备硅烷工艺流程图 38
 
图表 9 2012-2016年世界高纯硅烷产销分析 47
 
图表 10 2012-2016年世界高纯硅烷市场规模分析 47
 
图表 11 2016年国外高纯硅烷主要生产企业产销情况 47
 
图表 12 近4年REC Silicon公司 流动资产周转次数变化情况 48
 
图表 13 近4年REC Silicon公司 总资产周转次数变化情况 49
 
图表 14 近4年REC Silicon公司 销售毛利率变化情况 49
 
图表 15 近4年REC Silicon公司 资产负债率变化情况 49
 
图表 16 近4年REC Silicon公司 产权比率变化情况 50
 
图表 17 近4年REC Silicon公司 固定资产周转次数情况 50
 
图表 18 近4年Dowcorning公司流动资产周转次数变化情况 52
 
图表 19 近4年Dowcorning公司总资产周转次数变化情况 52
 
图表 20 近4年Dowcorning公司销售毛利率变化情况 52
 
图表 21 近4年Dowcorning公司资产负债率变化情况 53
 
图表 22 近4年Dowcorning公司产权比率变化情况 53
 
图表 23 近4年Dowcorning公司固定资产周转次数情况 54
 
图表 24 近4年SODIFF新素材有限公司流动资产周转次数变化情况 55
 
图表 25 近4年SODIFF新素材有限公司总资产周转次数变化情况 55
 
图表 26 近4年SODIFF新素材有限公司销售毛利率变化情况 55
 
图表 27 近4年SODIFF新素材有限公司资产负债率变化情况 56
 
图表 28 近4年SODIFF新素材有限公司产权比率变化情况 56
 
图表 29 近4年SODIFF新素材有限公司固定资产周转次数情况 57
 
图表 30 近4年MEMC公司流动资产周转次数变化情况 58
 
图表 31 近4年MEMC公司总资产周转次数变化情况 58
 
图表 32 近4年MEMC公司销售毛利率变化情况 59
 
图表 33 近4年MEMC公司资产负债率变化情况 59
 
图表 34 近4年MEMC公司产权比率变化情况 59
 
图表 35 近4年MEMC公司固定资产周转次数情况 60
 
图表 36 近4年Air Liquid公司流动资产周转次数变化情况 61
 
图表 37 近4年Air Liquid公司总资产周转次数变化情况 62
 
图表 38 近4年Air Liquid公司销售毛利率变化情况 62
 
图表 39 近4年Air Liquid公司资产负债率变化情况 63
 
图表 40 近4年Air Liquid公司产权比率变化情况 63
 
图表 41 近4年Air Liquid公司固定资产周转次数情况 63
 
图表 42 近4年日本电气工业公司流动资产周转次数变化情况 64
 
图表 43 近4年日本电气工业公司总资产周转次数变化情况 65
 
图表 44 近4年日本电气工业公司销售毛利率变化情况 65
 
图表 45 近4年日本电气工业公司资产负债率变化情况 65
 
图表 46 近4年日本电气工业公司产权比率变化情况 66
 
图表 47 近4年日本电气工业公司固定资产周转次数情况 66
 
图表 48 近4年大阳日酸公司流动资产周转次数变化情况 67
 
图表 49 近4年大阳日酸公司总资产周转次数变化情况 67
 
图表 50 近4年大阳日酸公司销售毛利率变化情况 68
 
图表 51 近4年大阳日酸公司资产负债率变化情况 68
 
图表 52 近4年大阳日酸公司产权比率变化情况 69
 
图表 53 近4年大阳日酸公司固定资产周转次数情况 69
 
图表 54 近4年Evonik Industries公司流动资产周转次数变化情况 70
 
图表 55 近4年Evonik Industries公司总资产周转次数变化情况 70
 
图表 56 近4年Evonik Industries公司销售毛利率变化情况 71
 
图表 57 近4年Evonik Industries公司资产负债率变化情况 71
 
图表 58 近4年Evonik Industries公司产权比率变化情况 72
 
图表 59 近4年Evonik Industries公司固定资产周转次数情况 72
 
图表 60 2012-2016年国内高纯硅烷生产分析 75
 
图表 61 近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数情况 76
 
图表 62 近4年浙江中宁硅业有限公司固定资产周转次数变化情况 76
 
图表 63 近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 76
 
图表 64 近4年浙江中宁硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 77
 
图表 65 近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况 77
 
图表 66 近4年浙江中宁硅业有限公司销售毛利率变化情况 78
 
图表 67 近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况 78
 
图表 68 近4年浙江中宁硅业有限公司资产负债率变化情况 79
 
图表 69 近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况 79
 
图表 70 近4年浙江中宁硅业有限公司产权比率变化情况 79
 
图表 71 近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况 80
 
图表 72 近4年浙江中宁硅业有限公司总资产周转次数变化情况 80
 
图表 73 近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数情况 82
 
图表 74 近4年浙江赛林硅业有限公司固定资产周转次数变化情况 82
 
图表 75 近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 83
 
图表 76 近4年浙江赛林硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 83
 
图表 77 近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况 84
 
图表 78 近4年浙江赛林硅业有限公司销售毛利率变化情况 84
 
图表 79 近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况 85
 
图表 80 近4年浙江赛林硅业有限公司资产负债率变化情况 85
 
图表 81 近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况 86
 
图表 82 近4年浙江赛林硅业有限公司产权比率变化情况 86
 
图表 83 近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况 87
 
图表 84 近4年浙江赛林硅业有限公司总资产周转次数变化情况 87
 
图表 85 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数情况 89
 
图表 86 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司固定资产周转次数变化情况 89
 
图表 87 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况 90
 
图表 88 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司流动资产周转次数变化情况 90
 
图表 89 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况 91
 
图表 90 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司销售毛利率变化情况 91
 
图表 91 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况 92
 
图表 92 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司资产负债率变化情况 92
 
图表 93 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况 93
 
图表 94 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司产权比率变化情况 93
 
图表 95 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况 94
 
图表 96 近4年滁州市硅谷特种气体有限公司总资产周转次数变化情况 94
 
图表 97 近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况 96
 
图表 98 近4年六九硅业有限公司固定资产周转次数情况 96
 
图表 99 近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 97
 
图表 100 近4年六九硅业有限公司流动资产周转次数变化情况 97
 
图表 101 近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况 98
 
图表 102 近4年六九硅业有限公司销售毛利率变化情况 98
 
图表 103 近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况 99
 
图表 104 近4年六九硅业有限公司资产负债率变化情况 99
 
图表 105 近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况 100
 
图表 106 近4年六九硅业有限公司产权比率变化情况 100
 
图表 107 近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况 101
 
图表 108 近4年六九硅业有限公司总资产周转次数变化情况 101
 
图表 109 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况 102
 
图表 110 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司固定资产周转次数情况 103
 
图表 111 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况 103
 
图表 112 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司流动资产周转次数变化情况 103
 
图表 113 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况 104
 
图表 114 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司销售毛利率变化情况 104
 
图表 115 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况 105
 
图表 116 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司资产负债率变化情况 105
 
图表 117 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况 106
 
图表 118 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司产权比率变化情况 106
 
图表 119 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况 107
 
图表 120 近4年浙江金华美晶硅电子有限公司总资产周转次数变化情况 107
 
图表 121 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况 109
 
图表 122 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司固定资产周转次数情况 109
 
图表 123 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况 110
 
图表 124 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司流动资产周转次数变化情况 110
 
图表 125 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况 111
 
图表 126 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司销售毛利率变化情况 111
 
图表 127 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况 112
 
图表 128 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司资产负债率变化情况 112
 
图表 129 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况 113
 
图表 130 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司产权比率变化情况 113
 
图表 131 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况 114
 
图表 132 近4年黑龙江金业电子气体股份有限公司总资产周转次数变化情况 114
 
图表 133 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况 116
 
图表 134 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司固定资产周转次数情况 116
 
图表 135 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况 116
 
图表 136 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司流动资产周转次数变化情况 117
 
图表 137 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况 117
 
图表 138 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司销售毛利率变化情况 118
 
图表 139 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况 118
 
图表 140 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司资产负债率变化情况 119
 
图表 141 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况 119
 
图表 142 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司产权比率变化情况 119
 
图表 143 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况 120
 
图表 144 近4年深圳市金业长健新材料股份有限公司总资产周转次数变化情况 120
 
图表 145 TiC涂层的模型 123
 
图表 146 CVD法的反应类型和所沉积材料 125
 
图表 147 CVD采用的加热方式 126
 
图表 148 开口体系CVD设备示意图 126
 
图表 149 几种开口体系的反应器示意图 127
 
图表 150 制备ZnSe单晶设备示意图 128
 
图表 151 非晶硅太阳能电池结构图 132
 
图表 152 非晶硅柔性太阳能电池 133
 
图表 153 大面积集成型叠层太阳能电池 135
 
图表 154 子电池示意图 135
 
图表 155 非晶硅太阳电池的制备流程 136
 
图表 156 2015-2020年我国高纯硅烷在电子信息产品中应用市场需求量的测算 141
 
图表 157 2013-2016年全球半导体材料销售分析 143
 
图表 158 2012-2016年全球半导体材料销售分析 145
 
图表 159 2012-2016年世界半导体硅片出货量分析 145
 
图表 160 2011-2016年我国集成电路行业增长情况 146
 
图表 161 2016年我国集成电路出口情况 147
 
图表 162 2016年集成电路产业内销产值增长情况 147
 
图表 163 2011-2016年我国集成电路固定资产投资增长情况 148
 
图表 164 2016年我国集成电路行业经济效益增长情况 148
 
图表 165 2012-2016年我国集成电路晶圆制造业发展规模分析 153
 
图表 166 不同薄膜太阳能电池研究应用水平 164
 
图表 167 现有各种太阳能电池比较 171
 
图表 168 中国大陆高世代面板线产能分布 184
 
图表 169 中国大陆待投产高世代面板线 184
 
图表 170 国家新型显示产业政策 186
 
图表 171 各省市新型显示产业政策 187

专家提示：十三五规划期间，产业政策对本行业产业链有重新梳理，数据每个季度实时更新，关于报告的图表部分，以当时购买报告的最新数据为准，图表的个数或多或少，届时以实际提交报告为准，感谢关注和支持！