钎焊烧结炉网带式烧结炉真空烧结炉厂家
钎焊烧结炉网带式烧结炉真空烧结炉厂家
产品价格:¥电议(人民币)
  • 规格:L4611Ⅱ-C/RZQ
  • 发货地:青岛
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  • 最小起订量:1台
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    商品详情

      该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。

      1、系统组成:a)扩散炉主机 b)推拉舟及层流净化台 c)气源柜 d)排毒柜 e)微机控制柜

      2、扩散炉管数:14/

      3、炉管内径:φ90㎜×240mm

      4、恒温区长度:≤600mm±1(300800 600mm±0.5(8001250

      5、单点稳定性:±1/24h(300800   ±0.5/24h(8001250

      6、气源路数:≤6

      7、气源控制:MFC或浮子流量计

      8、推拉舟行程:1500mm

      9、推拉舟速度范围及精度:(11000)±3mm/min

      10、推拉舟位置控制精度:≤3mm

      11、冷却方式:水冷+风冷

      12、微控部分采用STD总线功能模板

         a)CPU板:8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件

         b)信号调理板:完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换

         c)人机界面板:接收键入信息管理,并配置9液晶显示

         d)推拉舟接口板:输出推拉舟速度值,完成舟位置检测,输出推拉舟的运动指令

         e)MFC接口板:输出MFC设定值,将MFC的流量信息采入计算机

         f)可控硅控制及形状量输出板:完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能

         g)键盘:采用标准键盘或专用小键盘

         h)电源板(非STD总线板)

         i)可控硅触发板:完成可控硅的过零触发或移相触发驱动(STD总线板)

         j)开关量驱动板:完成由STD总线板的数字信号(TTL电平)的转换、放大,用于驱动气路阀(非总线板)

         k)推拉舟驱动部分:接收总线板输出的推拉舟速状态指令,并将位置转换成标准信号输出,有手动自动转换

      13、微机控制特点:

         a)工艺温度段数:114段,可选段运行

         b)单段时间范围:11080分钟/斜变段   19999分钟/恒温段

         c)三个温度测控回路独立修正温度测量值               d)三个温度测控点独立修正温度测量值

         e)PID参数,温度修正量可在线修改                      f)温度设定单位:℃   分辨率:0.1

         g)工艺段时间设定单位:min,分辨率:1min                h)各类工艺数据断电后长期保存

         i)工艺气体流量,推拉舟运动状态由微机实行闭环控制  j)中文显示各类提示信息

      k)各类输入信息采用填表方式完成,条例清楚,逻辑合理真空热压烧结炉、超高温烧结炉、超高温反应烧结炉、聚四氟乙稀烧结炉、立式烧结炉、卧式真空炉、烧结炉、陶瓷烧结炉、链式炉、扩散系统、真空扩散炉、高温扩散炉、烘焙排腊炉、单管氢气炉、真空烧结炉、双工烧结炉、陶瓷烧结炉、马弗炉、消磁炉、温度控制系统、熔封炉、缝焊机、加压检漏台、压力机、时效炉
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