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轮廓粗糙度一体化，实现一次测量，轮廓、粗糙度同时分析
粗糙度测量传感器选用进口光栅传感器，具有较大的测量量程
一次测量，可分析工件不同区域粗糙度，提高测量效率
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测量范围 |
X方向 |
150mm |
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Z1（传感器） |
60mm |
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高度 |
500mm |
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测量精度 |
X指示精度 （L=X轴移动导轨距离） |
±(0.7+0.002L)μm |
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Z1指示精度 （H=Z轴方向测量高度） |
±(0.4+0.005H)μm |
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粗糙度 |
示值误差 |
±5% |
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示值稳定性 |
≤±7% |
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测量重复性 |
±3% |
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X轴 |
类型 |
光栅传感器 |
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分辨率 |
0.01μm |
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产地 |
microe |
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直线度 |
0.5um/100mm |
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Z1轴 （传感器） |
类型 |
光栅传感器 |
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分辨率 |
0.01μm |
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产地 |
microe |
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评定长度 |
λc×3、4、5、6、7 |
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测量速度 |
轮廓仪 |
0.02mm至4.0mm/s |
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粗糙度 |
0.1mm/s、0.32mm/s、0.5mm/s |
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测针 |
轮廓仪粗糙度仪一体 |
针尖R5μm 60度 |
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工作压力 |
0.35～0.43Mpa |
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气源压力 |
0.45～0.80Mpa |
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气源流量 |
≥0.2 m3/min |
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电源 |
AC 220V±10% 50Hz |
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环境要求 |
温度：10～30℃；相对湿度：＜85% |
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