台式匀胶机
中国半导体行业十大标志性品牌产品
华尊奖（中国行业标志性品牌推选活动组委会)

MINGAO现生产销售KW-4A型旋转镀膜机。其价格便宜、体积小巧、使用方便，是一款膜层精密均匀镀覆的理想产品。其防滑、防震、便携的设计，使其成为实验室中高级科研设备。

匀胶机简述：

型号：KW-4A

匀胶机又称甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机，其总体由在国际上SOL-GEI技术领先的香港铭奥技术公司(HK MINGAO  TECHNOLOGY, INC) 设计完成。其主要关键元器件由美国进口，整机装配由深圳铭奥公司安装调试完成。该机2009年已通过CE认证，其抗干扰以及干扰性都较其他非CE产品要好。该性能的具体表现为：当该匀胶机在运转时，它不影响同处一室的其他设备，以保证其他设备的正常使用（如指针不漂移等受干扰后有影响的反应）；同时它本身也不会受到其他同处一室的设备运转而产生的磁场的干扰。从而保证实验效果的稳定性和可靠性。另外由于本公司采取了一些特殊的工艺手段，保证了转盘转动时平稳性，从而保证了制备出来的膜层厚度均匀性。上述证明凯美特公司的匀胶机能使实验具有良好的重复性、一致性、稳定性。由于铭奥公司从2009年以来一直从事于溶胶-凝胶（SOL-GEL）技术、工艺、及设备的研究、开发。公司根据对这技术和工艺的深刻了解所研发出的薄膜制备设备系列十多年来以优良的品质及良好的售后服务畅销中国、欧美、新加坡、韩国、日本以及台湾地区等经济和科技发达国家和地区。

KW—4A型匀胶机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶（sol-gel）实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

两级镀膜工艺
该工艺允许在低速和高速下镀覆。KW-4A型旋转镀膜机可对多种基片（包括新型可旋镀SPI Supplies氮化硅薄膜窗和多窗阵列）进行金属氧化物、高分子和有机薄膜的镀覆。镀膜机的转速越高，镀膜越薄。
其他实用信息：
理论上，最大基片的对角线长为9"(229mm)。通常，KW-4A所用最大标准尺寸卡盘为6"(152mm)。超过此尺寸，我们就只能提供半定制或定制旋转镀膜机。筒壁和基片间必须预留一定的空间防止回溅，因此基片最大尺寸小于最大筒径。另外还与电机功率有关，一旦晶片尺寸超过6"就必须使用更大功率的电机。如果用户使用的是超薄晶片，该款镀膜机在极限条件下可对8"晶片进行镀覆。但用户需要使用特制的8"卡盘。请注意我们并不能保证在任何情况下都可对8"晶片进行镀膜。如果您不愿冒此风险，请不要订购此种8"晶片镀膜配件。

本机具有以下特点：

 1．电机励磁和电枢分开供电。励磁用12伏直流稳压电源供电，电枢用运放控制IRF830调速，它比可控硅调速优越，故其转速在500—8000转/分范围内非常稳定。

2．本匀胶机有两档转速。在启动之后，先以低速运转，然后自动变到高速运转。两档速度及运行时间分别可调。

3．本匀胶机采用光电检测，数字电路测速，对电机的转速检测快速准确。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路，使整机在高达8000RPM以上转速时仍十分稳定，有力的保证了匀胶质量。

4．“吸片”采用电子开关控制电磁阀完成气路通断，这样适合流水线工艺，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，提高效率。

5．匀胶机定时采用可调定时电路控制，面板上调节Timer旋钮即可改变匀胶时间。

6．在安装结构上，采取了减震措施，因而匀胶机在运转时噪音很低。

7．电磁阀与电机运行有连锁功能，电磁阀未动作不能启动电机运行，本次匀胶电机未停不能进行下次匀胶，若运行中误按“CONTROL”键也不能停止吸气，即不会产生跑片。

 

由于采用了以上一系列措施，故本机具有很高的转速稳定性和快速启动性，可以保证涂覆表面均匀，并可通过调节转速调节涂覆厚度。

技术指标：本机具有两级转速

SpeedⅠ调速范围 500—2000转/分

TimerⅠ匀胶时间 3—18秒

SpeedⅡ转速范围 1000—8000转/分

TimerⅡ匀胶时间 3—60秒

转速稳定度 ±1%

电源电压（二种） 220v/ 50Hz或110v /50Hz

电机功率 40W

被镀物质尺寸 Φ8—Φ150mm

真空泵抽气速率 ≥60升/分

仪器尺寸：220×240×260 mm

毛重：6.8 Kg

体积紧凑：
KW-4A型匀胶机深10"(25.4cm)，宽8.5"(21.5cm)，高8.5"(21.5cm)，重15磅(6.8kg)。对工作空间不足的用户来说，该款精致的产品非常理想。装运尺寸：17"(43.2cm)x14"(35.6cm)x11"(27.9cm)；装运重量：20磅(9.1kg).

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